仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
实现大口径光学元件一次性检测，其中分光器用于将4英吋激光干涉仪
光束导入24英吋扩束器，机械相位测量装置用于校准相位变化，24高精度参考镜作为
参考平面，24英吋参考镜调整平台调整参考镜位置。
主要技术指标：
主镜：Φ630mmx80mm；扩束器主镜：非球面双凸透镜，平面面形精度 PV 值优于λ/5， 非球面面形精度 PV 值优于λ/2；透射标准镜：楔形平板，标准面面形精度 PV 值优于λ/10，非标准面面形精度 PV 值优于λ/6；反射标准镜：反射平板 25 标准面面形；精度 PV 值优于λ/10；空腔指标度 PV 值优于λ/10。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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