仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要技术指标：
超高真空外延室腔体、进样室腔体（真空漏率小于1E-11mbar.l.s-1）；三维驱动升、降温样品台（低温小于20K，液氦导入；高温：>600°）；高温蒸发源（本底真空1E-11mbar,1500℃，3个）；膜厚仪（水冷构造、直线驱动）；样品传动磁力杆，分子泵组等。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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