仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要通过开启灯光发出UVA波长的紫外线，目的是将制作在掩膜版上的图形复制到需要刻蚀和离子注入的样品上，从而完成光刻工艺。
主要技术指标：
样品托最大可放置4英寸晶圆，适用于碎片、1cm*1cm、2cm*2cm、2英寸以及4英寸的样品。掩膜版架最大可放置5寸掩膜版，最小要大于2英寸圆形。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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