仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
电感耦合等离子刻蚀二氧化硅、氮化硅、氮化铝、铌酸锂、金属铝、Mo及Cr等。
主要技术指标：
可容纳8英寸样品，向下兼容小样品。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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