仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用Ar离子轰击方式将4寸硅上的金属或介质层去除干净
主要技术指标：
刻蚀速度 AuCu 500A/min Pt 280/min 氧化硅300/min
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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