仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
金属薄膜的制备和基于金属材料的图案转移；
主要技术指标：
工作压力：UHV（5.6×10-11mbar）；
样品尺寸: 2英寸并向下兼容小样品；
衬底加热温度：800℃；
配备Al蒸发源 （双温区，能防止Al材料从坩埚口溢出），束源炉的最大加热温度是1400℃（此时材料的最大沉积速率为3A/s）；
配备金蒸发束源炉，最大加热温度是1250℃（此时材料的蒸发速率是0.6A/s）；
配备镍蒸发束源炉，最大加热温度是1350℃（此时材料的蒸发速率是0.4A/s）。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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