仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1）配备有更小波长的光源（200-1100 nm）；
2）非接触、不破坏样品地分析多层薄膜厚度、折射率和消光系数；
3）能够做多点面分布扫描测试；
主要技术指标：
主要参数：
最大扫描长度≥55 mm
测试所允许的最大样品厚度≥50 mm
垂直方向的扫描范围≥1000μm
测试高度方向的重复性≤0.4 nm（1 μm的标准台阶）
测试垂直分辨率≤0.1 nm
用途及功能：
主要用于薄膜材料厚度测量。可获得精确定量的台阶高度，线粗糙度，薄膜曲率半径，应力测试，表面3D形貌等测试功能。
服务内容：
仪器设备功能相关的样品测试、分析及技术咨询
服务典型成果：
用户须知：
以预约系统设置为准
收费标准：
面议