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用户评价
功能/应用范围：
在测量样品表面垂直照射紫外可见光，光的一部分在薄膜表面反射，另一部分透过薄膜后在薄膜与下层材料之间的界面反射。这时薄膜表面的反射光与薄膜底部的反射光产生干涉现象，使得反射光的强度发生振荡，光强振荡与入射光波长及薄膜的厚度相关。
主要技术指标：
1. 薄膜厚度测试范围涵盖5 nm—250 μm；
2. 膜厚测量准确度：≤±2%或1 nm （500 nm-800 nm厚度范围SiO2/Si标样）;
3. 膜厚测量精度(连续测量100次)：≤02 nm (500 nm-800 nm厚度范围SiO2/Si标样)；
4. 膜厚测量稳定性（100次测量）：≤05 nm （500 nm-800 nm厚度范围SiO2/Si标样）;
5. 测试速度：≤1 sec/点（5点及以上）
服务内容：
服务典型成果：
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