仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
样品及衬底的表面清洁
离子注入后的晶格修复和杂质激活
金半接触的改良
浅结制作等
主要技术指标：
上下加热炉最高设定加热温度：1100℃
样品最高加热速率：50℃/s，即样品常温升温至1000℃最少20s
炉丝最高加热速率：50℃/min，可根据程序精准控制
设定上下炉温1000℃时真空度：优于5×10-8 Torr
加热控温精度：1℃
温度均匀性：优于5%
工艺气体：N2；H2；Ar
气体流量：小于20sccm
可处理的样品尺寸：2英寸
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
询价