仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要技术指标：
① 检测抽速：主溅室40分钟真空度达到6.6×10-4帕；进样室40分钟真空度达到6.6×10-3帕；蒸发室：40分钟真空度达到6.6×10-4帕；
② 检测气路：二路进气，分MFC质量流量计控制进气，手动进气，备有混气室。MFC控制范围：0～100SCCM、0～50SCCM。
③ 检测镀膜：主溅射室磁控靶辉光放电，在指定样品镀膜，计算机控制镀膜时间；蒸发室：蒸发源可以蒸发材料，在指定样品镀膜。
④ 检测加热系统：溅射室/蒸发室，室温～600℃，程序控温；进样室退火：退火温度，最高700℃（三室共用一套加热控温系统）。
⑤ 检测极限真空：主溅射室6.6×10-5帕；进样室6.6×10-4帕；蒸发室8.0×10-5帕。
⑥ 检测真空漏率：主溅射室/蒸发室，停机关泵12小时后真空≤5帕；进样室停机关泵12小时后真空≤10帕。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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