仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
可实现定靶、掠靶、多周次掠靶等模式选择；腔体左右两侧分布有不同的阴极靶（圆形靶与矩形靶），满足不同尺寸、形状的样品需求(真空优于3E-5Pa，镀膜尺寸最大1900mm*1100mm)；镀膜机搭载应力仪，可实现实时应力监测；镀膜机搭载原位退火装置，可实现原位退火；可实现反应磁控溅射溅射，设备预留有流量计、截止阀，可控制气体充断；可沉积不同类型的纳米结构薄膜，实现纳米薄膜的原子层级厚度精确控制，保证成膜质量。
主要技术指标：
1、极限真空：1.0 × 10-5 Pa；2、实时应力测量，光斑稳定性>99.5%；3、原位退火装置，退火温度可达400℃；4、薄膜均匀性：±2%以内；5、镀膜机运行精度为1脉冲0.012s。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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