仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
薄膜生长和薄膜生长动力学研究
主要技术指标：
工作压力：UHV+氧氛围
样品尺寸: 2英寸并向下兼容小样品
衬底加热温度：1000℃以上
配备：臭氧发生及提纯装置
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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