仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
对微纳米结构进行失效分析以及截面观察，对微纳米工艺提供指导性方向；
主要技术指标：
二次电子分辨率：≤2.5nm@1kV、≤1.5nm@15kV
离子束分辨率：5.0nm@30kV；
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000元/小时