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功能/应用范围：
聚焦离子束扫描电子显微镜主要可以实现的功能有：高分辨二次电子图像、高分辨背散射电子图像、三维重构成像、三维空间材料组成及分布、三维孔隙分布、连通性、孔径及孔隙度、元素组成与含量分析、透射电镜样品制备、纳米加工(沉积、刻蚀)。聚焦离子束扫描电子显微镜配备的能谱仪（EDS）是快速、准确获得材料微区成分的主要手段。聚焦离子束扫描电子显微镜配备的电子背散射衍射仪（EBDS）可以获得大量的晶体学信息，如：织构和取向差分析；晶粒尺寸及形状分布分析；晶界、亚晶及孪晶界性质分析；应变和再结晶的分析；相鉴定及相比计算等。
主要技术指标：
（1）电子束在最佳工作距离下分辨率 ：
- 30keV下 STEM 0.6nm
- 1keV下 0.7nm
- 500eV下 1.0nm（ICD）
（2）束流范围:0.8pA-100nA
（3）加速电压范围：350V-30kV
（4）探测器：Elstar透镜内探测系统（TLD-SE，TLD-BSE）；Elstar镜筒内探测系统（ICE）；二次电子探测器（ETD）；STEM，CCD，Nav-Cam？
（5）辅助气体注入系统：可进行C、W的沉积
（6）全自动纳米机械手，X, Y, Z, R四个方向可移动控制，移动精度优于100nm，可以实现软件控制旋转
（7）样品台：五轴样品台；X、Y方向移动范围150mm，样品台倾斜范围优于 -10°/+60°
（8）X射线能谱仪：
1）SDD探测器面积：100mm2；
2）分辨率：127eV (Mn Ka)。
（9）电子背散射衍射仪：
EBSD在线解析标定速度不低于3000pps，此时花样分辨率仍能保持为128*156; 高速高灵敏度CMOS相机，分辨率1244*1024；防撞击功能
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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