仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于半导体晶圆光刻工艺制作
主要技术指标：
I9分辨率0.45um,I-line光源
ex14分辨率0.25um，DUV光源
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000元/时