仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
低气压容性耦合射频等离子体放电；二维复杂等离子体产生与诊断。
主要技术指标：
射频13.56MHz；电极直径200mm；流量计量程5sccm;工作气压10Pa-30Pa;颗粒尺寸10微米级
服务内容：
服务典型成果：
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收费标准：
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