仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
各种镀膜
主要技术指标：
1. 以电子束蒸发源（25-40 cc*6）为蒸发源，电子枪功率10kW。
2. 基板为公转方式，配置5mm x 5mm, 10mm x 10mm方片, 2 inch，4inch圆片，及不规则样品镀膜孔位。
3. 样品可加热至350℃，温度均匀性10OC，膜厚均匀性5%（Al）。
4. 搭配石英振荡片监控。
5. 搭配离子源，可进行低温镀膜。
6. 搭配光学监控（可选项）。
7. 控制系统，系统为自动排气、PC+PLC全自动控制。
8. Chamber ψ700 mm 左右。
9. 极限压强及排气速
服务内容：
各种镀膜
服务典型成果：
无
用户须知：
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法
苏州大学大型仪器设备共享平台测试收费标准
苏州大学大型仪器设备共享管理办法（试行）
收费标准：
面议