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真空有机薄膜蒸镀设备
型号:16源
制造厂商:美国Trovato Mfg.Inc公司
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
该设备是有机光电半导体器件和功能纳米器件制备的重要设备。途主要用于有机薄膜和金属薄膜/电极的蒸镀,单层及多层功能薄膜材料的蒸镀,有机 OLED和 OPV器件的制备和研究。
主要技术指标:
该设备主要由蒸发沉积室、手套箱、真空排气系统、真空测量系统、蒸发源、样品传递装置、计算机控制系统、电控系统、配气系统等部分组成。标准配置: (1)全自动计算机控制(蒸发源、膜厚、样品台、真空) ; (2)计算机控制样品和挡板转动、换样; (3) 12个蒸发源(4个金属源、 8个有机源); (4)可同时控制三个蒸发源的速率和相对比率; (5) 4个石英晶振膜厚监控仪; (6)样品台可同时支持3片基板和 3片掩模板: (7)连接氮气手套箱(带匀胶机) ; (8)冷却泵+机械泵; (9)冷却水+氮气充气
服务内容:
有机 OLED和 OPV器件的制备和研究
服务典型成果:
用户须知:
苏州大学大型精密贵重仪器设备管理办法 苏州大学大型仪器设备收费管理暂行办法 苏州大学大型仪器设备共享管理办法(试行)
收费标准:
面议
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