仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
清除MOCVD外延工艺用石墨部件上的沉积物
主要技术指标：
最高温度1400℃；温度均匀性 1400℃九点±5℃；真空度1E-3Torr，漏率5E-8；最大升温速率12℃/min(空炉)；最大冷却速率 1400℃至60℃ 180分钟以内(空炉)。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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