仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
对金属或者非金属材料进行离子束刻蚀
主要技术指标：
1. LKJ-系列型离子源口径：Ф150mm
2. 离子能量可调范围：0～1000 eV;
3. 束流峰值：≥130mA
4. 直接水冷刻蚀工件台性能
5. 水冷台面温度：-5℃~25℃；
6. 自转转速：9RPM
7. 刻蚀工作室功能
不锈钢箱式真空室，;配装直接插入离子源的水冷15℃的离子源室，装于门板的刻蚀工件台可旋入或旋出工作室。
8. 真空室壁温度：≤20℃
9. 真空系统主要构成组件、性能要求及主要技术指标
前级真空泵：直联泵抽速：≥11L/s；
配装油雾消除器；
主泵：1200C高性能分子泵及电源
抽速：>1200L/s；
电气动高真空主阀通导≥800L/s；
主要技术指标（环境温度≤25℃，湿度≤40%）：
系统极限压强：PLim≤8.5×10-5Pa(无冷阱、不烘烤)；
刻蚀工作前系统本底压强：Pb≤5×10-4Pa；
系统从105Pa抽至5×10-4Pa周期：≤45min;
Ar+离子束工作压强范围：Pop=1.2×10-2Pa～3.0×10-2Pa
标准Ar气工作压强：Psop=2×10-2Pa;
10. 系统压强测量技术要求：
ZDF-1-LED型复合真空仪配置ZJ-52热偶规和ZJ-27抗氧化电离规；
系统压强测量量程：400Pa～8.5×10-6Pa；
测量误差：≤±5%；
量程切换：10-1Pa～10-6Pa自动切换；
11. 流量控制技术要求：
1路流量控制系统由S49 32/MT 和DJ2BV-UG6 (DC24V)抗腐截止阀构成；
MFC量程：0～20sccm;
流量精度：±2%（F.S）；
压强控制范围：10-3Pa～5×10-1Pa（本底压强5×10-4Pa）；
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
收费标准：
面议