仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
离子注入
主要技术指标：
注入元素种类:B,P
最大注入能量:160Kev
最大注入剂量:1E16 atom/cm2,
RS_U%: <1%
服务内容：
注入杂质硼、磷
服务典型成果：
用户须知：
完整4英寸硅片，注入面可带胶，背面不可带胶；低于4英寸可粘片注入（具体咨询管理员）
收费标准：
询价