
仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
V400ACE™ 聚焦离子束(FIB)系统采用了离子镜筒设计、气体输送和端点探测领域的最新发展成果,可实现对高级集成电路的快速、高效和具备成本效益的电路编辑。
主要技术指标:
加速电压:0.5kV-30kV
射束电流:1.1pA-65nA
图像分辨率:4.5nm
服务内容:
服务典型成果:
无
用户须知:
对外服务时间:周一-周日。参数:加速电压:0.5kV-30kV
射束电流:1.1pA-65nA
图像分辨率:4.5nm。附件:电脑工作站
收费标准:
面议