仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1. 定点切割(Precision Cutting)
2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation)
3. 低阶IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification)
4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis)
5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morphology Observation)
6. 故障位置定位用被动电压反差分析 (
主要技术指标：
加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:24小时。参数：加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm。附件：Source gun: Pt,XeF2,Br2,I2,SiO2
收费标准：
面议