仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
1. 定点切割(Precision Cutting)
2. 穿透式电子显微镜试片制作 (TEM sample preparation)
3. IC线路修补和布局验证 (IC circuit editing and verification)
4. 制程上异常观察分析 (Abnormal process analysis)
5. 晶相特性观察分析 (Ion Channeling Contrast for Grain Morphology Observation)
6. GDS自动导航线路定位 (Auto-N
主要技术指标：
加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm
服务内容：
服务典型成果：
无
用户须知：
对外服务时间:24小时。参数：加速电压；200-30KV;放大倍率；25-200K;高真空；6X10-4Pa;样品最大尺寸；200mm。附件：Source gun: W,XeF2,Br2,I2,SiO2
收费标准：
面议