仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要研究方向：等离激元光子学
主要技术指标：
1.极限真空度： 1×10-5 Pa；
2.真空室尺寸Φ内400×350，不锈钢立式结构，衬底自转，加热温度800℃，程序温控，三靶向上共溅射。两靶可直流溅射，一个靶可射频溅射；
3.直流溅射电源功率500W；射频溅射电源（自动调节匹配）功率500W。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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