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安徽师范大学
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矢量扫描电子束流偏转控制系统
型号:Raith Elphy Quantum
制造厂商:德国Raith公司
购置日期:
生产国别:德国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
微纳光子学、凝聚态研究方向
主要技术指标:
  16 bit,6MHz数模转换器矢量扫描束偏转PC板安装于计算机主机中,计算机为Windows操作系统; 直写速度6 MHz; TTL –开关信号输出;TTL –SEM/FIB外部扫描开/关; TTL- FIB/SEM外部束控制信号;   6个额外的数模转换器,每个通道对准和校正(从硬件上处理尺寸缩放、旋转/正交和移动); 分等级的完成整合的GDSII层编辑/识别;DXF, CIF and ASCII等数据格式都可输入;  曝光参数调整和计算;  Macro产生和可视化Basic脚本语言;  数字图像ǯ怂占ᲀᲀ뗐窡窡占ᲀ�窥占ᲀ먡窡㐰ǟრ痁䴨ᑧრ痁჻痁
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