仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
SEM、STEM和TEM的样品制备；
纳米结构的制备和选择性的材料沉积；
表面成像和元素分析
主要技术指标：
工作压力： 高真空（5×10-4Pa）
离子源种类：液态Ga离子源
离子束分辨率：≤5 nm@30kV
束流强度：1.5pA-65nA （15孔光阑条）
电子束分辨率：≤1 nm@30kV（二次电子）
加速电压：0.5 -30kV
背散射电子分辨率： ≤3nm@30kV
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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