仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
微细加工微型器件和结构，研究微细加工工艺
主要技术指标：
光源：200W Ⅰ线汞灯；曝光面积：110mm×110mm；对准方式：地面对准（双面），显微镜对准（单面）；分辨力：0.8μm~1.2μm；最大胶厚（SU8胶）：600μm
服务内容：
对合适的光刻胶进行曝光，观察显影效果
服务典型成果：
用户须知：
面向本学院师生开放，初学者不可独立操作，本仪器暂未开放网上预约，如需使用可与本课题组商谈
收费标准：
面议