仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
本机台可用于150mm*150mm掩模和φ100mm的晶圆高精度投影曝光，曝光精度可达350nm(L&S)。
主要技术指标：
本机台可用于150mm*150mm掩模和φ100mm的晶圆高精度投影曝光，曝光精度可达350nm(L&S)。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
500~2000