仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
AixtronG4-TM金属有机化合物气相沉积系统，用于生长光电器件、P-HEMT/HBT等。
主要技术指标：
产能大、效率高、低成本；自动传片系统（TM）8片6英寸；三路进气；生长GaAs基材料生长。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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