仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
把芯片制作所需要的线路与功能区做出来
主要技术指标：
扫描范围 X：±40mm Y：±35mm；对准范围：X、Y粗调±3mm，细调±0.3mm ；Q粗调±15°，细调±3°；对准精度：1μm；分离量；0～50μm可调；接触－分离漂移：≤1μm
服务内容：
无
服务典型成果：
无
用户须知：
无
收费标准：
面议