仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
样品测试
主要技术指标：
1、极限真空：8×10-5Pa；
2、恢复抽真空时间（从大气至8×10-3Pa） 15分钟；
3、漏气率 5×10-10PaL/S；
4、镀膜腔室：ф220×H300(mm)；材质：1Cr18Ni9Ti；
5、圆形平面磁控靶：直径50mm，位于腔室底部；
6、溅射电源：DC 500W ；蒸发电源 DC 500W；
7、样品架（基片台）：直径80mm，安装于腔室顶部，马达驱动，转速可调；
8、基片台加热温度：Max 300℃（磁控），Max 1000℃（蒸发）；
9、分子泵真空系统：110L/S型分子泵，2L/S型机械泵。
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
面议