仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
用于半导体晶圆膜层沉积
主要技术指标：
膜厚Unif%：＜3%
面电阻Unif%：＜3%
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
2000元/时