仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
干法刻蚀
主要技术指标：
金属刻蚀
常规金属: Al, Ti/TiN, Ta/TaN, W
特殊金属: Pt, Au, Cr, Mo
刻蚀均匀度<5%
压电材料: AlN, PZT
刻蚀均匀度<5%
非金属刻蚀
Si, Poly, Oxide, SiN, Polyimide
刻蚀角度可调
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
1. 晶圆类型：硅片
2. 晶圆尺寸：6寸(150mm)
3. 晶圆平边尺寸：57.5±2.5mm
4. 晶圆厚度：400-750um
收费标准：
询价