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RIE反应离子刻蚀设备
型号:TRION Sirus T2
制造厂商:TRION
购置日期:
生产国别:美国
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仪器详情
用户评价
功能/应用范围:
使用了化学和物理反应来移除衬底表面的材料。
主要技术指标:
【1】刻蚀均匀性:<5% 【2】从大气到100mTorr的时间:<4min
服务内容:
服务典型成果:
用户须知:
收费标准:
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