仪器详情
用户评价
功能/应用范围：
主要用于Si、GaN、蓝宝石等材料的干法刻蚀
主要技术指标：
1.高功率温控ICP源，2MHzICP射频
2.衬底偏置选项：13.56MHz和40MHz
3.衬底电极温度范围为-40℃-180℃
4.Cortex处理器
服务内容：
服务典型成果：
用户须知：
收费标准：
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